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SiCN设备顺遂出机,面向后段金属互联工艺 盛美半导体首台PECVD

春眠不觉晓,处处闻啼鸟。
📅 2026-05-17 04:00:35 🏷️ 贵金属投资平台 👁️ 154
SiCN设备顺遂出机,面向后段金属互联工艺 盛美半导体首台PECVD

货品内置16根蜂窝天线,实现360度全向收发,支32台设备同时连接,悠闲知足全天户外直播、差旅办公、多者团建等多场景长光阴用网需求。

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费东斌为国铁路局首名落马之局长(资料图) 首台 PECVD SiCN 设备之发运,为盛美上海于延续拓展工艺技艺本领路途上之一名重要里程碑,该平台采用革新性之设备设计,可支更前卫之工艺需求,并为日益繁之半导体制造及下一代器件集结提供所需之控制本领与一致性。

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IT之家之解到,该设备采用旋转沉积之方式,配置有四名晶圆装载口及三名工艺腔体,每名工位成总膜厚三分之一之沉积,各工位具备独力之射频体系,最高工艺温度可达 400℃。

IT之家 4 月 27 日消息,盛美半导体 (ACM Research) 今日宣布,其首台等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 碳氮化硅 (SiCN) 设备已正式出机,现发往主顾端进行最终验证。

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而且该货品还配备12000毫安时大电池,支20小时连续直播,不管为直播看洪崖洞、还为长嘉汇看无者机表演,或者为田间地头之助农直播,全场景用网无压力。

盛美上海总经理王坚表示: 此款设备专为 300mm(12 英寸)晶圆工艺设计,可知足 55nm 及以下制程后段金属互联工艺应用与前卫封装领域对 SiCN 薄膜之需求。

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